1、分子篩制氮氣設備
制氮機以碳分子篩(CMS)為吸附劑，采用常溫下變壓吸附原理(PSA)分離空氣制取高純度的氮氣。使用兩吸附塔并聯，由進口PLC控制進口氣動閥自動運行，交替進行加壓吸附和解壓再生，完成氮氧分離，獲得所需高純度的氮氣。
2、膜分離制氮氣設備
使具有一定壓力的空氣通過膜組件，利用氧氣和氮氣滲透中空纖維膜的速率不同的特點，有選擇性地將壓縮空氣中的氧氣和氮氣進行分離，使得氮氣在膜組件滯留側被富集的方法。
中空纖維膜：能進行膜分離的由高分子材料制成的中空纖維束與外殼等構成的膜件，是氮氧分離的單體元件。
3、深冷制氮氣設備
低溫深冷空氣分離工藝的原理是在高壓低溫下將空氣液化，根據空氣中氧、氮成分的沸點不同，在精餾塔中，經過精餾傳質傳熱，分離液態空氣中的氧、氮成分，從而分離出氧氮產品。
傳統的低溫深冷工藝，有多種不同的工藝流程；隨著空分工藝的開發和機械制造的發展，現代的大型空分裝置已形成了由壓縮空氣經分子篩吸附空氣中的碳氫化合物，經板翅式換熱器換熱，通過膨脹機制冷，液化空氣在精餾塔中精餾，分離氧、氮、氬產品的典型的全低壓空分工藝流程�，F代全低壓空分工藝根據對氧產品壓力的不同需求，可分為全低壓空分的內壓縮流程和外壓縮流程。
